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高頻動態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點有哪些?

來源:南京愛爾傳感 發(fā)布時間:2020-06-15 10:54 瀏覽量:

  頻動態(tài)壓力傳感器在軍事工程,化爆試驗,石油勘采與土木工程學,巖土力學等液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中都有廣泛的應用,它可以在極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶,以保證足夠的動態(tài)測壓精度,下面,小編就為大家簡單介紹一下高頻動態(tài)壓力傳感器的工作原理及其性能特點。

 

高頻動態(tài)壓力傳感器的介紹:

  TS108高頻動態(tài)壓力傳感器針對:對化爆試驗,軍事工程,石油勘采與試井,材料,力學,土木工程學,巖土力學。

  創(chuàng)傷醫(yī)學,液壓動力機械試驗等科學試驗與現(xiàn)代化儀器儀表中,需要不失真地測量一些變化頻率高,壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值、低噪音,高分辨率,要求所用壓力傳感器具有很高的固有頻率,極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶,以保證足夠的動態(tài)測壓精度。

  本產(chǎn)品采用微機械加工技術(shù)使得集成硅膜片尺寸小,固有頻率高,具有優(yōu)良的彈性力學特性,綜合能力優(yōu)于壓電動態(tài)壓力傳感器,成為動態(tài)測量行業(yè)首選的測壓產(chǎn)品。

 

高頻動態(tài)壓力傳感器的工作原理:

  MEMS壓力傳感器是利用壓阻效應原理,采用三維集成電路工藝及- -些專用特殊工藝在單晶硅片薄膜上的特定晶向制成4個應變電阻構(gòu)成惠斯通檢測電橋。被測介質(zhì)施壓使橋壁電阻值發(fā)生變化,產(chǎn)生一個差動電壓信號,此信號經(jīng)專用放大電路將量程相對應信號轉(zhuǎn)換成標準模擬信號或數(shù)字信號。

高頻動態(tài)壓力傳感器的特點:

  全不銹鋼外殼,卓越的腐蝕性能

  采用壓阻式擴散硅芯片,固有頻率高于壓電式動態(tài)壓力傳感器(固有頻率可達1MHz)

  信噪比好、高分辨率、高信噪比、抗干擾能力強

  外形尺寸小,重量輕,類型齊全,性價比高

  適用于化爆實驗、水工、空氣動力力學實驗等高端測量行業(yè)

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